Название | Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия |
---|---|
Аннотация |
Стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник. Взамен Заменённые ГОСТ 19658-74 |
Статус Н/Д | Действующий |
Дата принятия в РТ | 01.01.1983 |
Дата введения | 01.01.1983 |
Разработчик Н/Д и его адрес | - |
Категория | Каталог межгосударственных стандартов |
Язык оригинала | Русский |
Изменения | 2 (поправок 2) |
Кол-во страниц | 80 |
Заказать |