Название | ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки |
---|---|
Аннотация | Распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10- 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер . |
Статус Н/Д | Действующий |
Дата принятия в РТ | 11.11.2009 |
Дата введения | 01.11.2010 |
Разработчик Н/Д и его адрес | Российская Федерация |
Категория | Каталог межгосударственных стандартов |
Язык оригинала | Русский |
Изменения | - |
Кол-во страниц | 10 |
Заказать |