| Название | Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния |
|---|---|
| Аннотация | Стандарт устанавливает хроматографический метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния и в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом. |
| Статус Н/Д | Действующий |
| Дата принятия в РТ | 01.01.1986 |
| Дата введения | 01.01.1986 |
| Разработчик Н/Д и его адрес | Министерство цветной металлургии СССР |
| Категория | Каталог межгосударственных стандартов |
| Язык оригинала | Русский |
| Изменения | 1 |
| Кол-во страниц | 12 |
| Заказать |