| Название | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей |
|---|---|
| Аннотация | Стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четыреххлористом кремнии и трихлорсилане. |
| Статус Н/Д | Действующий |
| Дата принятия в РТ | 01.01.1986 |
| Дата введения | 01.01.1986 |
| Разработчик Н/Д и его адрес | Министерство цветной металлургии СССР |
| Категория | Каталог межгосударственных стандартов |
| Язык оригинала | Русский |
| Изменения | 1 |
| Кол-во страниц | 24 |
| Заказать |