| Название | Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования |
|---|---|
| Аннотация | Стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции. |
| Статус Н/Д | Действующий |
| Дата принятия в РТ | 01.01.1984 |
| Дата введения | 01.01.1984 |
| Разработчик Н/Д и его адрес | - |
| Категория | Каталог межгосударственных стандартов |
| Язык оригинала | Русский |
| Изменения | 1 |
| Кол-во страниц | 4 |
| Заказать |