| Название | ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
|---|---|
| Аннотация | Устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния (далее - рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10-9до 10-6м. |
| Статус Н/Д | Действующий |
| Дата принятия в РТ | 11.11.2009 |
| Дата введения | 01.11.2010 |
| Разработчик Н/Д и его адрес | Российская Федерация |
| Категория | Каталог межгосударственных стандартов |
| Язык оригинала | Русский |
| Изменения | - |
| Кол-во страниц | 9 |
| Заказать |