Название | Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота |
---|---|
Аннотация | Стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации ускоренными ионами и протонами. |
Статус Н/Д | Действующий |
Дата принятия в РТ | 01.01.1986 |
Дата введения | 01.01.1986 |
Разработчик Н/Д и его адрес | Министерство цветной металлургии СССР |
Категория | Каталог межгосударственных стандартов |
Язык оригинала | Русский |
Изменения | 1 |
Кол-во страниц | 20 |
Заказать |